七个典型的洁净空气处理体系 即空气处理进程 七个典型的空气处理体系即空气处理进程 ? 3.1.5.1 净化和空调合一的计划其净化空调 机组（AHU）会集设置在空调机房内，全 部的送风均在净化空调机组内进行过滤和 热、湿处理，然后由巨大的送风管将悉数 的送风运送到洁净室的吊顶上部，再经过 设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高 效过滤器送风口送到洁净室内，来完成洁 净室工艺出产所需求的温度、湿度、洁净 度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、 回风管再接回到空调机房的空调机组内与 新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。 ? 净化和空调合一的计划又可分为全新风方 案（直流体系）；一次回风计划；一、二 次回风计划和(MAU)加(RAU)计划等四种不 同的净化空调送风型式。 ? 这些送风计划是当时洁净室特别对错单向 流洁净室中使用最广泛的净化空调送风方 案。这些送风计划的体系区分清晰，风量 和温、湿度操控调理都比较单一。 ? 但当洁净度等级较高、送风量较大时，存 在着空调机房占面积大，送、回风管体积 大占面积和占空间大，送、回风管道长， 送风机的压力高，噪音大,风量运送耗电量 大等问题。因而，这些送风计划较适用在 低等级的非单向流洁净室的送风，对5级以 上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。 一、AHU全新风的净化空调送风计划 （直流体系） ? 全新风净化空调送风计划是用于特别的不 答应回风的洁净室的送风计划中。如：洁 净室内工艺出产类别为甲、乙类火灾风险 等级或工艺进程发生有剧毒等有害物不允 许回风的洁净送风体系中。其原理图和焓 湿图如下。 ? 示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）全新风空气处理计划示意图及焓湿图 二、AHU 一次回风的净化空调送风 计划 ? 一次回风的送风计划多用在洁净室内的发 热量或产湿量很大，消除室内余热或余湿 的送风量大于或等于净化送风量的低洁净 度等级的非单向流洁净室中。此计划的原 理图和焓湿图如下： 示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一次回风空气处理计划示意图及焓湿图 三、AHU 一、二次回风的净化空调 送风计划 ? 为了节能、消除空气热湿处理进程中的冷 热彼此抵消，在洁净室净化送风量大于消 除余热、余湿的空调送风量时，最好选用 一、二次回风计划，将二次混合点规划在 体系送风点上,该方是最节能、最经济的送 风计划。其原理图和焓湿图如下： 示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一、二次回风空气处理计划示意图及焓湿图 四、MAU+RAU的净化空调送风计划 ? 此计划多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽邻近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量是能消除室内余 热、余湿，确保室内温、湿度一起又能满 足室内洁净度要求的净化空调送风量, 在循 环机组内设置必要的热、湿处理设备,用来 补偿新风机组热、湿处理的缺乏和确保该 洁净室温、湿度精度的微调理。 示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU空气处理计划示意图及(i-d)图 ? 5.1.5.2 净化送风和空调送风别离的计划，此计划 一般被称作半会集式或涣散式的送风计划。 为了大大地节约运转时的能耗，将消除洁净室内 余热、余湿的空调送风量（一般大大地小于洁净 室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机 组（MAU）进行必要的净化和热湿处理，而将占 总送风量50~90%的确保洁净室洁净度的净化送 风量由设在洁净室邻近的循环机组进行净化和补 充的热、湿处理，或直接选用吊顶上的FFU（风 机过滤器机组）和干盘管来处理洁净室的洁净度 等级和温度的微调理。 ? 此计划是净化送风与空调送风相别离的方 案，不只可节约运转的能耗，并且大大地 减少了空调机房面积，省掉了巨大的送、 回风管道，降低了洁净室的空间高度。此 净化空调送风计划又可分为：空调机组 (AHU)（MAU）加风机过滤器机组(FFU)方 案,新风机组（MAU）加循环机组（RAU） 加（FFU）计划；新风机组（MAU）加风 机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)方 案等三种送风计划。 其送风原理图和焓湿图如下： 示意图 焓湿(i-d)图 AHU加FFU空气处理计划示意图及焓湿图 二、新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机 过滤器单元（FFU）净化空调送风计划 ? 此计划多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽邻近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量仅仅消除室内余 热余湿的空调送风量,并且在机组内设置必 要的热、湿处理设备,用来补偿新风机组热、 湿处理的缺乏和确保该洁净室温、湿度精 度的微调理。 ? 此计划的新风机组设在空调机房内，这些 洁净室所需的新风悉数由新风机组（MAU） 进行净化和热湿的会集处理。然后分配到 每一个循环机组内与其回风混合。新风机 组的新风量不只仅要补偿各洁净室的排风 还要确保每个洁净室的正压。 示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU加FFU空气处理计划示意图及(i-d)图 三、新风机组（MAU）加风机过滤器机 组（FFU）加干冷盘管(DC)的净化空调 送风计划 ? 此计划是新风机组将新风处理到洁净室热 湿比线%线交点以下，新风 机组不只将自身的湿负荷去掉，并且还负 担洁净室内发生的湿负荷，新风机组要确 保洁净室所要求的相对湿度。而新风机组 热处理缺乏部分的干冷负荷将由设在洁净 室下夹层或吊顶上的干表冷器来补偿。因 干表冷器是设在FFU循环空气经过的吊顶上 或夹道内，因而，干表冷所补偿的干冷负 荷被循环空气带到洁净室内。 示意图 焓湿(i-d)图 MAU加FFU加DC空气处理计划示意图及焓湿图 3.1.6 洁净室净化空调体系的冷、热源 ? 3.1.6.1 净化空调体系冷源的挑选 ? 一、会集冷冻站和涣散独立冷源的比较和挑选。 ? 大型规模化的出产工厂会集设置冷冻站，对制作 出资和运转办理都是比较有利的。可是由于一些 温、湿要求不同比较大供冷参数不同；运转规则、 运转时刻不同的洁净车间来说，在会集冷冻站基 础上，就近设置涣散、独立、专用的制冷机组， 这对节约能源，确保参数和便利运转办理都有极 大的优点。 ? 二、冷媒选用冷冻水仍是氟立昂直接蒸腾。 ? 关于大型的工厂由会集的冷冻站供给冷冻 水作为净化空调体系的冷媒较为有利。因 冷冻水运送便利，运送进程冷丢失较小； 并且，冷冻水作冷媒对净化空调体系参数 的操控、调理和保护办理也都比较有利。 可是小的独立涣散的制冷机组可选用水冷 冷水机组，也可选用风冷直接蒸腾的制冷 机组。这要依据详细项意图详细情况而定。 ? 三、选用紧缩式制冷机仍是选用直燃式溴 化锂吸收式制冷机。 ? 活塞式、离心式、螺杆式制冷机都是紧缩 式制冷机，在净化空调规划中最多选用的 仍是离心、螺杆等紧缩制冷机。由于其投 资低，运转办理便利，但其运转耗电很高。 紧缩式制冷机组的冷冻水供水温度可调， 最低供水温度可为4℃。可是，在供电严重 而燃气和煤供给较为便利的区域，尤其是 有废热废蒸汽能够使用的场合，选用直燃 式溴化锂吸收式制冷机更为经济，尤其是 这种制冷机组在供冷的一起还可供热。 四、净化空调体系冷冻水的温度的确认 ? 当以冷冻水作为净化空调体系的冷媒时， 在一般的情况下，冷冻水的初温（表冷器 冷冻水的进口温度）应比处理后空气的终 温（规划核算中确认）至少要低3.5℃；如 果是以冷冻办法去湿降温为意图空气处理 体系，冷冻水的终温（表冷器冷冻水的出 口温度）应比处理后空气的终温低0.7℃； 用作干式冷盘管的冷冻水的初温（进口温 度）应比洁净室内空气的露点温度至少高 2℃。 3.1.6.2 净化空调体系冷源的挑选 ? 一、以冬天防冻为意图新风预热加热器的热媒最 好选用电加热或蒸汽加热，一般不宜选用热水作 热媒，这样预热器自身可能有被冻坏的风险。 ? 二、空调机组内加热器的热媒可选用热水、蒸汽 或电加热，其间电加热操控灵敏便利，温度操控 精确度高，但运转费贵重，一般在没有热水和蒸 汽供给的地刚才用电加热；用热水作热媒时不只 调理和办理便利、并且操控精度也高是加热器最 常用的热媒；当温度的精度要求不高（如℃）也 可选用蒸汽作加热器的热媒。 ? 三、当温度的精度要求很高的时分（如℃） 宜在送入洁净室的支管上设温度精度微调 节的电加热器是一个可行的办法。 ? 四、净化空调体系的加湿比较便利、可行、 经济、牢靠的办法是用过热蒸汽 （≥0.2MPa）作热媒选用干蒸汽加湿器进 行加湿，或选用电热式或电极式加湿器。 当相对湿度的精度要求不高且加湿量较大 时，宜选用水来加湿，可选用淋水，湿膜 或喷雾（高压喷雾或高压微雾）等方式。